Impurity(非组分)
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Specification(标准)
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Argon 氩气
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<3.0 ppmv
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Nitrogen 氮气
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<5.0 ppmv
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Carbon Monoxide 一氧化碳
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<0.5 ppmv
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Carbon Dioxide 二氧化碳
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<0.5 ppmv
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Total Hydrocarbon 碳氢化合物
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<0.2 ppmv
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Moisture 水
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<0.5 ppmv
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Krypton 氪气
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<2.0 ppmv
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纯氧、高纯氧、超纯氧(GB/T14599-2008)
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项目名称
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指标
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超纯氧
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高纯氧
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纯氧
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氧气(O2)的体积分数/10-2 ≥
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99.9999
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99.999
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99.995
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氢气(H2)的体积分数/10-6 ≤
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0.1
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0.5
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1
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氩(Ar)的体积分数/10-6 ≤
|
0.2
|
2
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10
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氮(N2)的体积分数/10-6 ≤
|
0.1
|
5
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20
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总烃含量(以甲烷计)/10-6 ≤
|
0.1
|
0.5
|
2
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二氧化碳含量/10-6 ≤
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0.1
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0.5
|
1
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水分/10-6 ≤
|
0.5
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2
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3
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注:表中纯度和含量均以体积分数表示(V/V)。
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